在真空濾油機中真空泵的好壞決定于其機械結構和油的質量，使用真空泵時必須把它保護好。如果蒸餾揮發性較大的有機溶劑時，有機溶劑會被油吸收結果增加了蒸氣壓，從而降低了抽空效能，如果是酸性氣體，那就會腐蝕油泵，如果是水蒸氣就會使油成乳濁液而抽壞真空泵。

因此真空濾油機使用真空泵時必須注意幾點：

在蒸餾系統和真空泵之間，必須裝有吸收裝置。減壓系統必須保持密不漏氣，所有的橡皮塞的大小和孔道要一致，橡皮管要用真空橡皮管，在磨口玻璃也要涂上真空油脂。真空油泵可以抽到133.3Pa(1mmHg)以下真空。

根據使用的范圍和抽氣效能可將真空泵分為三類：

 (1)一般水泵，壓強可達到1.333~100kPa(10~760mmHg)為"粗"真空。

 (2)油泵，壓強可達0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)為"次高"真空。

 (3)擴散泵，壓強可達0.133Pa以下，(10-3mmHg)為"高"真空。